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氣動量儀測量誤差的表示方式有兩種：以量值表示，即以所測得量值與實際值之差表示，以這種方式表示的誤差稱為絕對誤差；以比值表示，即以絕對誤差與實際值之比表示，以這種方式表示的誤差稱為相對誤差，例如用激光干涉儀測長時，如其最大相對誤差為千萬分之一，則表示在規(guī)定條件下，測量1米長度的誤差應不大于0.1微米。

氣動量儀測量結果與被測長度真值的一致程度以精確度或準確度表示。它是正確度和精密度的綜合，通常簡稱為精度。若已修正系統(tǒng)誤差，則精確度常用不確定度來表示。不確定氣動量儀測量度表示由于存在測量誤差而對所測量值不能肯定的程度，以標準偏差表示其大小。

氣動量儀測量中，常把多次測量被測長度后所得的數據取算術平均值作為測量結果。那是因為根據概率論的大數定律，如果測量次數足夠多，那么就可以提高精密度。測量過程中隨機誤差的出現，基本上是遵循正態(tài)分布規(guī)律的。

此外，氣動量儀還有對測量所得數據進行數學運算以得到所需測量結果的數據處理。例如，用氣動量儀量圓度，直接獲得的數據是相對某一圓心的半徑變化，因此需要按圓度定義作相應的函數運算才能得到圓度誤差。